EDWARDS

В 1919 году Ф.Д. Эдвардс с женой основал компанию в Камберуэлл в Южном Лондоне всего за 20 фунтов! В настоящее время Компания Эдвардс имеет годовой оборот около $1 млрд. и насчитывает более 3000 сотрудников, работающих в более чем 60-ти странах. Более сорока лет компания присутствует в Азии (Корея, Япония, Китай и Тайвань), где товарооборот составляет около 60% от оборота всей компании. С 1990 года бизнес в регионе вырос почти в 30 раз. Компания является основным поставщиком вакуумного оборудования для десяти основных, наиболее известных в мире производителей полупроводников.

Компания Edwards имеет 94-летний опыт в поставке и разработке инновационных вакуумных систем и сопутствующих элементов и является мировым лидером в создании вакуумного оборудования для осуществления самых передовых технологий при изготовлении полупроводниковых приборов, плоских дисплеев, солнечных батарей, светодиодов, аналитического оборудования, имитаторов космического пространства. Благодаря инновационным решениям Edwards - вакуумная техника позволила реализовать передовые технологии в химической, фармацевтической, металлургической и других смежных областях.

Одной из важнейших задач для будущих поколений компания считает создание технологий и оборудования, обеспечивающих проведение технологических процессов без нанесения ущерба окружающей среде, а также создание устройств возобновляемых видов энергии. Поэтому компания уделяет внимание разработке техпроцессов и оборудования для очистки отходов производства и изготовления фотоэлектрических солнечных элементов, являющихся одним из видов возобновляемой энергии.

Реализация технологических процессов в вакууме занимает значительный процент стоимости передового производственного процесса, поэтому большинство разработок и исследований направлены на снижение стоимости эксплуатации и цены оборудования. Edwards каждый год тратит более 10 миллионов фунтов стерлингов на инновационные разработки, что позволяет Компании сохранять лидирующее положение на мировом рынке. Большая часть исследований направлена на улучшение характеристик существующего оборудования и поиск новых решений, технологий и областей применения.

В настоящее время на мировом рынке вакуумного оборудования Edwards представлена широкой гаммой высоковакуумных и механических форвакуумных насосов, вакуумметрической аппаратурой и откачными станциями. По своим параметрам, поставляемые вакуумные насосы существенно превосходят аналогичные образцы других компаний. Среди них турбомолекулярные насосы с ротором на магнитном подвесе серии STP, форвакуумные спиральные насосы серий XDS и nXDS, комбинированные когтевые GXS и винтовые CXC насосы.

Первый вакуумный сухой «безмасляный» насос компанией Эдвардс был выпущен и поставлен для полупроводниковой промышленности в 1984 году. Насос создан на базе запатентованной Компанией конструкции насоса, в котором перенос откачиваемого газа от всасывающего до нагнетательного патрубка осуществляется в замкнутой полости, образованной между зубьями (в форме когтя), расположенными на вращающихся в противоположных направлениях двух роторах, расточкой корпуса и торцевыми крышками. Впоследствии когтевые вакуумные насосы, представленные линейкой GXS, нашли широкое применение в самых различных областях производства. Линейка состоит из 10 насосов различных модификаций с диапазоном скоростей откачки от 44 до 958 л/с. Предельный вакуум этих насосов достигает 1х10^-3 мбар. Бесконтактный принцип внутреннего сжатия в когтевых насосах позволяет получить идеально чистый вакуум, сохранить постоянную быстроту откачки на весь срок службы насоса, обеспечить малый износ и более высокие рабочие характеристики при откачке газов содержащих пыль и водяные пары, что увеличивает интервал межсервисного обслуживания. По оценке сервисных инженеров, такие насосы уверенно работают даже при скоплении в рабочем объеме до 750 г пыли. Низкая потребляемая мощность по сравнению с аналогичными насосами, панель управления на корпусе и возможность дистанционного управления, пониженный шум, а также 5-и летний интервал сервисного обслуживания снижают эксплуатационные затраты на обслуживание этих насосов.

В последнее время Компания и выпустила на рынок новую запатентованную модификацию сухого насоса. В этой разработке на одном валу с когтевой частью насоса расположена ступень насоса Рутса, что привело к понижению предельного вакуума и повышению производительности насоса.

Концентрируя внимание на наиболее востребованных промышленностью образцах вакуумной техники, компанией разработан механический насос, в котором реализованы винтовой способ откачки. Винтовые вакуумные насосы Edwards представлены линейкой CXC.

Другое техническое достижение Компании - выпуск линейки форвакуумных спиральных насосов серий XDS и nXDS, обеспечивающих «безмасляную откачку» до 7х10^-3 мбар с быстротой действия от 1,7 до 26,4 л/с. Основное отличие этих насосов, от присутствующих на рынке аналогов, заключается в герметичном разделении рабочей камеры и приводной части насоса с помощью сильфонного ввода. Эта конструкция вакуумного ввода запатентована компанией. Благодаря такой конструкции, спиральные насосы Edwards, сохраняя положительные качества насосов данного типа, обладают рядом преимуществ при реализации вакуумных технологических процессов, не допускающих проникновения откачиваемых газов в атмосферу. Регулируемое газобалластное устройство обеспечивает откачку конденсирующихся паров расширяя технологические возможности насосов. Эти спиральные насосы позволяют: - обеспечить откачку и утилизацию редких, химически агрессивных и радиоактивных газов без их проникновения в окружающую среду, их потерь и нарушения экологии; - исключить разбавление технологических газов атмосферными газами, что упрощает процесс их последующей очистки; - предотвратить поступление в вакуумную систему паров масла из подшипников, и тем самым обеспечить «сухую» (безмасляную) откачку; - устранить воздействие вакуума и откачиваемых агрессивных газов на подшипники и электродвигатель привода, тем самым увеличивая ресурс работы насоса; - исключить попадание в смазку откачиваемых радиоактивных и химически агрессивных газов, что упрощает процесс замены ее и подшипников.

Компанией Edwards созданы также две модификации спиральных вакуумных насосов с индексом «C» и «R». Первая модификация предназначена для откачки химически агрессивных веществ. Использование насосов второго типа позволяет проводить перекачку редких газов с целью их повторного применения.

Последние 10 лет компания Edwards занимает лидирующее положение на рынке вакуумного оборудования по поставке сухих механических насосов и систем безмасляной откачки. Такие системы широко используются во всем мире. Они позволяют снизить потребление электроэнергии на 80% по сравнению с традиционными механическими насосами и пароструйными эжекторами.

Турбомолекулярные насосы STP с магнитным подвесом ротора представлены линейкой состоящей более чем из 20 насосов с быстротой действия от 300 до 4300 л/с и предельным разрежением до 10^-10 мбар. Эти насосы имеют ряд модификаций, которые ориентированы как на откачку с повышенной быстротой действия, так и на достижение предельно низкого давления. Ряд насосов выполнен в химически стойком исполнении, что позволяет производить откачку химически агрессивных газов.

Уникальность этой серии насосов состоит в том, что их ротор не имеет традиционных подшипников, а, следовательно, и смазки, что делает такие насосы абсолютно «сухими». Наличие магнитного подвеса ротора практически исключает вибрации насоса при работе. Кроме того, отсутствие подверженных износу подшипников, как правило, лимитирующих ресурс работы подобных устройств, существенно увеличивает время безотказной работы насоса и упрощает его обслуживание. Эти насосы незаменимы для современного технологического и аналитического оборудования. Не случайно с 1983 года промышленностью закуплено более 100 тысяч таких насосов, из которых более 85 % работает в современной полупроводниковой промышленности.

Технические специалисты Компании работают в тесном контакте с ведущими предприятиями, разрабатывающими высокотехнологичные вакуумные процессы для создания инновационных продуктов в самых разнообразных отраслях промышленности. Глобальная сервисная сеть компании обеспечивает локальную поддержку всего поставляемого и эксплуатируемого оборудования.